Исследование низкокогерентного интерферометрического зонда при работе в сканирующем режиме измерений

   Представлен низкокогерентный интерферометрический зонд, работающий в сканирующем режиме измерений. Получены данные о рельефе поверхности при движении разработанного зонда и изменении разности хода опорного зеркала в плече интерферометра. Представлены функциональная схема оптического измерительного блока, сканирующий режим измерений, проанализирована обработка сигналов с фотоприемных устройств. Получены картина нерегулярных волновых фронтов при падении низкокогерентного излучения на негладкую поверхность, кривая интенсивности интерференционной картины при изменении рельефа поверхности вдоль оси OZ, а также результаты измерений амплитуды и огибающая интерференционного сигнала при расфокусировке.

1. Борн М., Вольф Э. Основы оптики. М.: Наука, 1970. 855 с.

2. Франсон М., Сланский С. Когерентность в оптике / Пер. с франц.; под ред. К. С. Шифрина. М.: Наука, 1967. 80 с.

3. Котов И. Р., Ситник Д. Н., Хопов В. В. Гетеродинная голографическая и спекл-интерферометрия // Прикладная физическая оптика: Сб. науч. трудов. М.: МЭИ, 1987. № 134. С.113–115.

4. Островский Ю. И., Танин Л. В. Перестраиваемый лазер на органическом красителе для резонансной интерферометрии и голографии // Журнал технической физики. 1975. Т. 45, № 8. С. 1756–1766.

5. Франсон М. Оптика спеклов / Пер. с франц.; под ред. Ю. И. Островского. М.: Мир, 1980. 171 с.

6. Коломийцев Ю. В. Интерферометры. Л.: Машиностроение, 1976. 296 с.

7. Клименко Н. С. Голография сфокусированных изображений и спекл-интерферометрия. М.: Наука, 1985. 224 с.

8. Хохлова М. В., Дагаев А. В., Майоров Е. Е., Арефьев А. В., Гулиев Р. Б., Громов О. В. Интерференционная система измерения геометрических параметров отражающих поверхностей // Международный науч.-исслед. журнал. 2021. № 6 (108). С. 184–189.

9. Хохлова М. В., Арефьев А. В., Майоров Е. Е., Гулиев Р. Б., Дагаев А. В., Громов О. В. Экспериментальное исследование метрологических характеристик разработанного оптического щупа триггерного типа // Приборы. 2021. № 5. С. 8–16.

10. Курлов В. В., Коцкович В. Б., Майоров Е. Е., Пушкина В. П., Таюрская И. С. Экспериментальное исследование разработанной интерференционной системы для измерений поверхности объектов сложной формы // Изв. ТулГУ. Технические науки. 2020. № 8. C. 179–189.

11. Бородянский Ю. М., Майоров Е. Е., Петрова Е. А., Попова Е. В., Курлов В. В., Удахина С. В. Измерение геометрических параметров поверхностей сложной формы низкокогерентной оптической системой // Приборы. 2022. № 5 (263). С. 3–7.

12. Майоров Е. Е., Колесниченко С. В., Константинова А. А., Машек А. Ч., Писарева Е. А., Цыганкова Г. А. Исследование флуктуаций фазы выходного сигнала системы фазовых измерений // Приборы и системы. Управление, контроль, диагностика. 2021. № 9. С. 1–6.

13. Майоров Е. Е., Черняк Т. А., Костин Г. А. Применение высокочувствительных фотоматериалов на основе галогенидов серебра для исследования влияния отклонений подложек спеклограмм на результаты измерений // Приборы. 2023. № 5. (275). С. 51–54.

14. Костин Г. А., Черняк Т. А., Майоров Е. Е. Экспериментальное исследование фазоизмерительной установки обработки спеклограмм // Изв. ТулГУ. Технические науки. 2023. Вып. 4. С. 109-112. DOI: 10.24412/2071-6168-2023-4-109-113.

15. Майоров Е. Е., Костин Г. А., Черняк Т. А. Реализация метода спекл-фотографии для контроля диффузно отражающих поверхностей объектов // Научное приборостроение. 2023. Т. 33, № 2. C. 75–83.

16. Майоров Е. Е. Исследование сложных форм поверхностей когерентно ограниченной во времени системой // Моделирование и ситуационное управление качеством сложных систем: Сб. докл. Четвертая Всерос. науч. конф. Санкт-Петербург, 18–22 апр. 2023 г. СПб: ГУАП, 2023. C. 65–68.

17. Перенести в английский вариант

18. Born M., Wolf E. Principles of Optics, Pergamon Press, 1959.

19. Francon M., Slansky S. Coherence en optique, 1965.

20. Kotov I.R., Sitnik D.N., Khopov V.V. Prikladnaya fizicheskaya optika (Applied Physical Optics: Collection of Scientific Papers), Moscow, 1987, no. 134, pp. 113–115. (in Russ.)

21. Ostrovsky Yu.I., Tanin L.V. Technical Physics, 1975, no. 8(45), pp. 1756–1766. (in Russ.)

22. Francon M. La granularite laser (spekle) et ses applications en optique, Paris etc., 1978.

23. Kolomiytsev Yu.V. Interferometry (Interferometers), Leningrad, 1976, 296 р. (in Russ.)

24. Klimenko N.S. Golografiya sfokusirovannykh izobrazheniy i spekl-interferometriya (Holography of Focused Images and Speckle Interferometry), Moscow, 1985, 224 р. (in Russ.)

25. Khokhlova M.V., Dagaev A.V., Arefyev A.V., Guliev R.B., Mayorov E.E., Gromov O.V. Meždunarodnyj naučno-issledovatel'skij žurnal (International Research Journal), 2021, no. 6(108), pp. 184–189, doi: 10.23670/IRJ.2021.108.6.029. (in Russ.)

26. Khokhlova M.V., Arefyev A.V., Mayorov E.E., Guliev R.B., Dagaev A.V., Gromov O.V. Pribory, 2021, no. 5, pp. 8–16 (in Russ.)

27. Kurlov V.V., Kotskovich V.B., Majorov E.E., Pushkina V.P., Tayurskaya I.S. News of the Tula State University. Technical Sciences, 2020, no. 8, pp. 179–189. (in Russ.)

28. Borodyansky Yu.M., Mayorov E.E., Petrova E.A., Popova E.V., Kurlov V.V., Udakhina S.V. Pribory, 2022, no. 5(263), pp. 3–7 (in Russ.)

29. Mayorov E.E., Kolesnichenko S.V., Konstantinova A.A., Mashek A.Ch., Pisareva E.A., Tsygankova G.A. Instruments and Systems: Monitoring, Control, and Diagnostics, 2021, no. 9, pp. 1–6. (in Russ.)

30. Mayorov E.E., Chernyak T.A., Kostin G.A. Pribory, 2023, no. 5(275), pp. 51–54. (in Russ.)

31. Kostin G.A., Chernyak T.A., Mayorov E.E. News of the Tula State University. Technical Sciences, 2023, no. 4, pp. 109–112, DOI: 10.24412/2071-6168-2023-4-109-113. (in Russ.)

32. Mayorov E.E., Kostin G.A., Chernyak T.A. Nauchnoe Priborostroenie (Scientific Instrumentation) 2023, no. 2(33), pp. 75–83. (in Russ.)

33. Maiorov Е.Е. Modelirovaniye i situatsionnoye upravleniye kachestvom slozhnykh sistem (Modeling and Situational Quality Management of Complex Systems), Fourth All-Russian Scientific Conference, St. Petersburg, April 18–22, 2023, рр. 65–68. (in Russ.)